Strömungstechnische Auslegung reinraumtauglicher Fertigun...
Degenhart, Elmar
Die vorliegende Arbeit entstand wihrend meiner Tiitigkeit als wissenschaftlicher Mitarbeiter am Fraunhofer-Institut flir Produktionstechnik und Automatisierung (IPA), Stuttgart. Die Untersuchungen wurden anteilig mit Mitteln des Bundes ministeriums flir Forschung und Technologie (BMFT), Projekttriigerschaft "Halb leiterfertigungsgerlite" gefOrdert. Mein besonderer Dank gilt dem Leiter des Instituts, Herrn Professor Dr. -Ing. H. -J. Warnecke,...