Synchrotron Nanobeam Experimente an CrN Multilayerschichten
Gaitzenauer, Andrea
In der vorliegenden Arbeit werden Texturgradienten an CrN-Schichten gemessen. Dafür wurden 3 Schichten CrN zu je 5 µm mit einer Biasspannung von -40 V, -120V bzw. -40V durch Magnetronsputtern auf ein Stahlsubstrat abgeschieden. Die Textur wird durch direkte und indirekte Polfiguren dargestellt. Das ermöglicht die Berechnung der Orientierungsverteilungsfunktion aus dem am Synchrotron gemessenen Debye-Scherrer-Ringen. Die Auswertung zeigt eine 0...