Entwicklung einer vakuumtauglichen Führung
Heyne, Marko
Die Arbeit hat die theoretischen Untersuchungen zu einer vakuumtauglichen Wälzführung für den Einsatz in einem planaren Positioniersystem zum Inhalt. Vakuumbedingungen werden für die Fertigungsprozesse der Halbleiterindustrie und für die Reduzierung der Störeinflüsse auf die Messergebnisse benötigt. Das planare Positioniersystem basiert auf einem elektromagnetischen Direktantrieb. Daher werden die Werkstoffe für den Einsatz in einer Vakuumumge...