Semiconductors for Micro- and Nanotechnology
Korvink, Jan G. / Greiner, Andreas
Halbleiter spielen eine wesentliche Rolle in der modernen Mikrotechnologie, besonders in der Mikroelektronik. Da die Dimensionen von neuen Mikroelektronikkomponenten, z.B. Computerchips, jetzt Nanometergröße erreicht haben, bewegt sich die Halbleiterforschung von der Mikrotechnologie hin zur Nanotechnologie.
Das Verständnis der Halbleiterphysik, die mit dieser Technologie verbunden ist, ist für jeden Ingenieurstudenten bes. der Elektrotechnik,...