Technologie von MEMS-Elementen auf der Basis nanokristall...
Kusterer, Joachim
Im Rahmen dieser Arbeit wurden auf der Basis von heteroepitaktischen und
polykristallinen Diamantschichten auf Silizium unter Anwendung einer generischen
Material- und Herstellungstechnologie verschiedene Mikrosysteme entwickelt.
Dieses Materialsystem wurde in den vergangenen Jahren zunehmend für
den Einsatz in solchen Systemen als das ultimative Material prognostiziert, speziell
für die Entwicklung von Mikroaktoren und Mikrosensoren [1¿8]. Ge...