Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ...
Sauter, Klaus-Dieter
Die rasche Weiterentwicklung der Mikroelektronik erfordert aus wirtschaftlichen und technologischen Gründen eine Optimierung der Chipherstellung unter fertigungstechnischen Gesichtspunkten. Neben einer Erhöhung des Automatisierungsgrades ist es besonders erforderlich, das durch die manuellen Eingriffe und den Laborcharakter bedingte Fehlerpotential in der Fertigung zu senken sowie die Ausfallsicherheit der Fertigung zu erhöhen. Mit Blick darau...