Technologie hochintegrierter Schaltungen
Widmann, Dietrich / Friedrich, Hans / Mader, Hermann![Technologie hochintegrierter Schaltungen](https://support.digitalhusky.com/media/annotations/sorted/133/13325701/CHSBZCOP0313325701.jpg)
Dieses Buch beschreibt kompetent und umfassend die aktuellen Technologien zur Herstellung von hochintegrierten Schaltungen bis zur Prozeßintegration für den 256-Mbit-Speicher. Es wendet sich damit an fortgeschrittene Studenten sowie Ingenieure und Naturwissenschaftler in Forschung, Entwicklung und Fertigung. Die gewaltigen Entwicklungen in der Prozeßtechnologie der letzten Jahre finden sich in dieser Neuauflage wieder: Planarisierungstechniken...