Neste trabalho mostramos o estudo e a caracterização de diversos processos de deposição química autocatalítica de níquel para aplicações em microeletrônica e nanotecnologia. São mostrados processos de deposição química por diversas técnicas, bem como os resultados de análises de composição química, rugosidade superficial e espessura de filmes de Níquel e ligas Níquel-Fósforo pelas técnicas de RBS, AFM, TRXFA. Também é mostrada a caracterização elétrica de capacitores MOS construídos com essa técnica de deposição.
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ISBN | 9783330735996 |
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Sprache | por |
Cover | Kartonierter Einband (Kt) |
Verlag | Novas Edições Acadêmicas |
Jahr | 20160610 |
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