Nanofabricação com Microscópio de Força Atômica
Oliveira, Alexandre / Azevedo, Antonio
A litografia representa uma importante ferramenta para o desenvolvimento tecnológico de nano e micro sistemas eletromecânicos. Esses sistemas podem ter funções de sensores de posicionamento como acelerômetros e giroscópios, motores, sensores de pressão, etc. As técnicas de litografia estão cada vez mais diversificadas e precisas. Neste trabalho foram desenvolvidas duas técnicas de litografia do tipo bottom-up usando o Microscópio de Força Atôm...